【摘 要】
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本文提出一种利用MOS结构C—V特性测量Si—SiO_2介面固定表面电荷和可动离子的新方法。此方法的特点是:(1)不需要x—y函数记录仪;(2)测量程序简单,可快速求值;(3)测量结果准
【机 构】
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无线电系半导体器件教研室,天津市红新半导体器件厂,天津市红新半导体器件厂
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本文提出一种利用MOS结构C—V特性测量Si—SiO_2介面固定表面电荷和可动离子的新方法。此方法的特点是:(1)不需要x—y函数记录仪;(2)测量程序简单,可快速求值;(3)测量结果准确,故最适宜作MOS集成电路工艺或平面工艺的监控手段。
In this paper, we propose a new method to measure the surface charges and movable ions of Si-SiO_2 interface by using C-V characteristics of MOS structure. The method is characterized by: (1) no need for an x-y function logger; (2) a simple measurement procedure for rapid evaluation; (3) accurate measurement results and therefore the most suitable for MOS integrated circuit or planar process monitoring means.
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