【摘 要】
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日本大阪大学工程系的井川直哉教授和日立造船公司共同研究开发出一种利用激光提高材料表面形状测量精度的方法。利用激光束几乎完美地呈直线的性质,并以此为基准移动探测器
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日本大阪大学工程系的井川直哉教授和日立造船公司共同研究开发出一种利用激光提高材料表面形状测量精度的方法。利用激光束几乎完美地呈直线的性质,并以此为基准移动探测器,测量表面形状。在1m以内,激光束所形成的直线方向的变化为20nm以
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