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复阻抗谱测量高阻硅单晶电阻率的研究
复阻抗谱测量高阻硅单晶电阻率的研究
来源 :电子测量与仪器学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hziyin
【摘 要】
:
本文研究了根据样品交流复阻抗谱谱峰高民频率的函数关系测量片与块状高阻硅单晶电阻率的测试与分析方法,及各种效应对测试结果的影响,并与四探针和两探针方法的测量结果进行了
【作 者】
:
马树魁
田敬民
【机 构】
:
铁道科学研究院!北京,西安理工大学!西安
【出 处】
:
电子测量与仪器学报
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
复阻抗谱
电阻率
硅单晶
半导体
Silicon Resistivity Complex impedance spectrum
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本文研究了根据样品交流复阻抗谱谱峰高民频率的函数关系测量片与块状高阻硅单晶电阻率的测试与分析方法,及各种效应对测试结果的影响,并与四探针和两探针方法的测量结果进行了比较。
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