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经述了变角Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）分析表面的原理和计算方法，获得了变角ＸＰＳ分析表面／深度的定是计算程序可快速可靠地计算多层多种组分的含量和层厚度。
变角XPS定量分析的研究
【摘 要】
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经述了变角Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）分析表面的原理和计算方法，获得了变角ＸＰＳ分析表面／深度的定是计算程序可快速可靠地计算多层多种组分的含量和层厚度。
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1999年4期
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