309用于准分子激光器的X光预电离源研究

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309用于准分子激光器的X光预电离源研究王又青,安承武,李再光(武汉激光技术国家重点实验室,430074)对于准分子激光器这样的高气压脉冲放电设备,为保证放电的均匀性,预电离是必不可少的。本文介绍了X光预电离的产生机理及实验装置,并进行了详细的实验研... 309 X-ray Pre-ionization Source for Excimer Laser WANG You-qing, AN Cheng-wu, LI Zai-guang (State Key Laboratory of Laser Technology, Wuhan 430074) For high-pressure pulsed discharge equipment like excimer laser, to ensure the uniformity of discharge, Pre-ionization is essential. This paper introduces the generation mechanism of X-ray pre-ionization and experimental device, and carried out a detailed experimental study ...
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