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本文概述了金属离子注入技术的特点，并就国内外的应用情况，介绍了离子注入后，金属材料耐磨性，抗蚀性显著改善的研究。着重对金属离子注入机的要求和发展方向作了简要的介绍。
金属材料改性的离子注入技术
【摘 要】
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本文概述了金属离子注入技术的特点，并就国内外的应用情况，介绍了离子注入后，金属材料耐磨性，抗蚀性显著改善的研究。着重对金属离子注入机的要求和发展方向作了简要的介绍。
【机 构】
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长沙电子部第４８研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1995年4期
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