七星电子12英寸立式氧化炉实现产业化

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北京七星华创电子股份有限公司(简称“七星电子”)与上海华力微电子有限公司签订2台12英寸(1英寸=2.54 cm)立式氧化炉供销合同,用于其55 nm集成电路生产线。这标志着七星电子的氧化炉产品继在中芯国际验证成功后,又一次在国内高端集成电路生产领域取得突破,开始走向商用化。近年来,七星电子承担了12英寸立式氧化炉的研制任务。七星电子研发团队成功研制出完全自主知 Beijing Seven Star Huachuang Electronics Co., Ltd. (“Qixing Electronics”) and Shanghai Huali Microelectronics Co., Ltd. signed two 12-inch (1 inch = 2.54 cm) vertical oxidation furnace supply and marketing contracts for its 55 nm integration Circuit production line. This marks the Qixing electronic oxidation furnace products, following the successful verification of SMIC, once again in the field of high-end integrated circuit manufacturing breakthroughs, began to move towards commercialization. In recent years, Seven Star assumed 12-inch vertical oxidation furnace development tasks. Seven-star electronic research and development team successfully developed completely self-knowledge
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