【摘 要】
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国家863计划项目“超大规模集成电路配套材料”重大专项中的“TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)”项目,日前在北京通过科技部验收。这标志着拥有自主知识产权核心技术的大
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国家863计划项目“超大规模集成电路配套材料”重大专项中的“TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)”项目,日前在北京通过科技部验收。这标志着拥有自主知识产权核心技术的大尺寸集成电路与太阳能用单晶硅生产设备,在我国首次研制成功。单晶炉是直接法制备硅单晶的关键技术装备,所制备的硅单晶主要用于集成电路元件和太阳能电池。西安理工大学与北京有色金属研究院从2003年起承担“TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)”课题的研发任务,经过三年多的攻关,取得了一系列创新性成果和关键技术。所研制的样机均由
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