【摘 要】
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采用SIMOX和新研制的横向隔离结构作出了抗核辐射的CMOS/SIMOX器件,这些器件经2兆拉德(硅)γ射线辐射后,仍具有充分的工作性能。
Using SIMOX and the newly developed late
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采用SIMOX和新研制的横向隔离结构作出了抗核辐射的CMOS/SIMOX器件,这些器件经2兆拉德(硅)γ射线辐射后,仍具有充分的工作性能。
Using SIMOX and the newly developed lateral isolation structure, a CMOS / SIMOX device with anti-nuclear radiation has been fabricated. These devices still have sufficient performance after being irradiated by 2 Mrad (γ) γ-rays.
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