【摘 要】
：
研究应用于薄膜力学微拉伸测试系统的微弹簧力传感器。在单轴薄膜微拉伸系统的基础上,通过有限元模拟分析,研究以S型弹簧为结构基础的微弹簧力传感器。根据模拟结果,利用高精
【机 构】
：
上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室、微米／纳米加工技术国家级重点实验室
论文部分内容阅读
研究应用于薄膜力学微拉伸测试系统的微弹簧力传感器。在单轴薄膜微拉伸系统的基础上,通过有限元模拟分析,研究以S型弹簧为结构基础的微弹簧力传感器。根据模拟结果,利用高精度线切割和UV-LIGA（Ultraviolet Lithographie GalVanoformung Abformung）技术制备出微弹簧力传感器,并在自制装置上进行标定。标定结果表明,由负胶工艺制备的自由式微弹簧力传感器有良好的线性,而且与Ansys模拟的弹性系数结果一致,为微拉伸测试系统提供良好的条件。
其他文献
为了研究高速电梯的水平振动，基于刚体动力学理论，建立电梯轿厢水平振动的空间动力学模型。为了消除参数不确定性及外扰作用的影响，应用Lyapunov方法，分别针对轿厢的平动和转动设
提出定时截尾数据最佳线性无偏估计方法。针对工程中常见的位置-尺度分布族,给出定时截尾情况下分布参数的最佳线性无偏点估计公式及其协方差矩阵,得到分布参数的置信区间、
将圆抛物面天线的反射面抽象为薄壳，通过求解圆抛物面薄壳的弹性力学方程，计算出中心体支撑和自由边框边界条件的圆抛物面天线反射面受载时的变形位移，首次分析这一类天线反射面
国家科技部自2000年以来，先后立项进行了“中国精品科技期刊战略研究”和“中国精品科技期刊服务与保障系统”两个课题，为提升中国科技期刊的整体水平，提出了打造精品科技期刊的