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采用傅立叶变换红外光谱法(FT-IR)测定微量氟化氢气体,根据氟化氢的特性,对进样系统的吸附性进行了试验,以选取合理的实验设备和合适的进样方法;对微量氟化氢进样后残留的清洗方法进行研究,以确定快速高效的清洗方法;对不同浓度的氟化氢工作气体进行测定,考察了氟化氢在所选实验条件下FT-IR响应的线性,以确定合适的校准方法。