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用Secco腐蚀液对直径150mmp型(100)直拉硅单晶片进行择优腐蚀后，得到了流动图形缺陷(FPDs)，并通过原子力显微镜(AFM)对其微观结构进行观察，实验发现，在FPDs缺陷的尖端存在有几百纳米的由(111)面构成的八面体空洞，这与Takeno等人的实验结果相反，他们认为FPD的端部是间隙型的位错环；实验还发现，FPD端部的空洞随腐蚀时间延长会逐渐变为圆形的浅坑直至最后消失。