【摘 要】
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文章评述了影响微电子机械系统（MEMS）成品率和可靠性的粘合力和摩擦力问题。在用氢氟酸（HF）腐蚀牺牲层、释放多晶Si微结构、干燥时，由于Si片表面薄层水的表面张力使两片亲水、间隙
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文章评述了影响微电子机械系统（MEMS）成品率和可靠性的粘合力和摩擦力问题。在用氢氟酸（HF）腐蚀牺牲层、释放多晶Si微结构、干燥时，由于Si片表面薄层水的表面张力使两片亲水、间隙在微米量级的Si片粘合起来，称为“释放有关粘合”。粘合也发生在封装后器件中，当输入信号过冲时，由于Si片表面的化学状态将Si片粘合起来，称为“使用中粘合”。解决粘合的最好办法是：在MEMS微结构的表面涂以抗粘合薄膜，将成品器件在干燥气氛下封装。介绍了抗粘合薄膜的制备工艺和目前存在的问题。相比之下，具有高速运动的MEMS，其摩擦力
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