激光镀技术

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【摘要】

：

<正>激光镀技术自从80年代初IBM公司首先开展研究以来,10余年间有了长足的进步,已从单纯提高镀速而发展到研究在电子元器件的微组装中的应用.由于激光镀具有空间分辨高(最小

【作者】

：

郁祖湛

【机构】

：

复旦大学化学系教授

【出处】

：

电镀与精饰

【发表日期】

：

1995年6期

【关键词】

：

电镀激光镀

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<正>激光镀技术自从80年代初IBM公司首先开展研究以来,10余年间有了长足的进步,已从单纯提高镀速而发展到研究在电子元器件的微组装中的应用.由于激光镀具有空间分辨高(最小线宽有可能<2μm),可在不同电子材料(陶瓷、微晶玻璃、聚酰亚胺、硅等)上镀覆各种功能性金属线,也可借用CAD技术实现制作各种图形及联线.因此已引起工业界的广泛重视.

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