【摘 要】
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多极靴结构的扫描偏转线圈可以实现电子束的精确偏转控制,产生多束流。由于其电磁场的分布对电子束流的偏转效果影响很大,因此需要进行深入的研究。本文应用有限元数值分析软
【机 构】
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北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室,清华大学机械工程系
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多极靴结构的扫描偏转线圈可以实现电子束的精确偏转控制,产生多束流。由于其电磁场的分布对电子束流的偏转效果影响很大,因此需要进行深入的研究。本文应用有限元数值分析软件AN-SYS对多极靴结构的电子束扫描偏转线圈进行了三维静态电磁场分析,通过分析得到不同极靴结构的线圈电磁场的分布结果,并对部分计算结果进行试验验证。这种分析方法有助于优化线圈的结构设计,提高线圈的制作精度,并能有效地控制线圈体积,减小材料浪费。
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