【摘 要】
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光栅波导显示系统在生产加工和装调过程中，由于微纳加工设备的系统误差、累计误差和人为装调误差会影响系统成像质量产生重像，模糊等问题。为了解决上述问题，本文设计了一种一维扩瞳光栅波导并采用光线追迹仿真方法，分析了光栅波导平行度误差，光栅周期误差，系统装调误差对成像质量的影响；实验加工并装调测试了光栅波导的成像质量，通过控制波导平整度在0.3′以内，光栅周期公差在0.2nm以内，制造了一维出瞳扩展光栅波
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术教育部重点实验室
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光栅波导显示系统在生产加工和装调过程中，由于微纳加工设备的系统误差、累计误差和人为装调误差会影响系统成像质量产生重像，模糊等问题。为了解决上述问题，本文设计了一种一维扩瞳光栅波导并采用光线追迹仿真方法，分析了光栅波导平行度误差，光栅周期误差，系统装调误差对成像质量的影响；实验加工并装调测试了光栅波导的成像质量，通过控制波导平整度在0.3′以内，光栅周期公差在0.2nm以内，制造了一维出瞳扩展光栅波导，准直装调后达到了30×12°视场角，实现了良好的增强现实显示效果和清晰的成像质量，对实际的量产制造具有指导意义。
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