论文部分内容阅读
随着昆虫飞行机理和仿生扑翼飞行研究的不断进展，理解昆虫的传感系统并研制适于微型扑翼飞行器的仿生传感器逐渐成为目前关注的焦点，而MEMS的快速发展使得研制新型的仿生微型传感器成为可能。简要介绍仿生扑翼飞行中传感系统研究现状，对昆虫飞行中采用的力传感器原理、分类进行了介绍；重点分析了几种典型的力传感器；归纳和总结了基于昆虫毛状传感器、钟状传感器和平衡棒仿生，采用各种MEMS技术研制的微型力传感器的生产工艺和应用特点；探索和展望了仿生力传感器的发展特点和今后的发展趋势。