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氯硅烷是生产多晶硅成品的中间物料,具有刺激性气味,易燃,有毒等特性,由于屏蔽泵具有无泄漏的特点,所以在输送过程中大量采用屏蔽泵,成功的解决了物料输送过程中的跑、冒、滴、漏问题,现已成为化工生产过程中不可替代的设备。只有屏蔽泵长周期稳定运行,才能保证生产装置的稳定生产,本文通过总结分析屏蔽泵实际使用过程中遇到的典型故障问题,提出了相应的解决措施。