射频集成电感器的快速傅立叶变换模拟及制备

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：maigao

【摘要】

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应用磁镜像法和快速傅立叶变换(FFT)法对单片微波集成电路(MMIC)的薄膜平面射频集成电感器进行了电磁学模拟,并把模拟结果和有限元法(FEM)模拟的结果[1]进行了比较.根据模拟

【作者】

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向三名章吉良张明生

【机构】

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国家教育部薄膜与微细加工技术重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

2002年1期

【关键词】

：

射频集成电感器快速傅立叶变换法磁镜像法 integrated inductors FFT magnetic mirror image MMIC

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应用磁镜像法和快速傅立叶变换(FFT)法对单片微波集成电路(MMIC)的薄膜平面射频集成电感器进行了电磁学模拟,并把模拟结果和有限元法(FEM)模拟的结果[1]进行了比较.根据模拟结果,对薄膜平面射频集成电感器结构参数和加工参数进行了优化,改进了薄膜平面射频集成电感器的工艺方案.最后结合薄膜平面射频集成电感器薄膜的高频损耗分析,讨论了平面薄膜集成电感器薄膜微细加工技术.

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