单晶硅薄膜法向热导率分子动力学研究

来源 :工程热物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wwyufo

【摘要】

：

采用非平衡分子动力学方法(NEMD)研究了平均温度为500 K、厚度为2～32 nm的单晶硅薄膜的法向热导率.模拟结果表明,薄膜热导率显著低于对应温度下的体硅单晶的实验值,并随膜厚度

【作者】

：

肖鹏冯晓利李志信

【机构】

：

清华大学工程力学系

【出处】

：

工程热物理学报

【发表日期】

：

2002年6期

【关键词】

：

单晶硅薄膜热导率分子动力学声子导热性 thermal conductivity crystal silicon film molecular dynam

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采用非平衡分子动力学方法(NEMD)研究了平均温度为500 K、厚度为2～32 nm的单晶硅薄膜的法向热导率.模拟结果表明,薄膜热导率显著低于对应温度下的体硅单晶的实验值,并随膜厚度减小以接近线性的规律减小.用声子气动力论模型的分析结果与NEMD模拟相一致,表明纳米单晶硅薄膜中声子平均自由程显著减小.

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