【摘 要】
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研究了在高阻硅衬底上Al/ AlO／Al隧道结的制备技术,采用电子束蒸发制备Al/ AlOx/Al三层材料,湿法刻蚀制备底电极和上电极以及电路连线,PECVD法生长绝缘层(SiO2)保护超导隧道结
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研究了在高阻硅衬底上Al/ AlO／Al隧道结的制备技术,采用电子束蒸发制备Al/ AlOx/Al三层材料,湿法刻蚀制备底电极和上电极以及电路连线,PECVD法生长绝缘层(SiO2)保护超导隧道结,RIE刻蚀上电极窗口.在400mK温度下测量了Al/AlOx/Al隧道结样品,得到了较好的隧道结I-V曲线,能隙电压Vg为0.325mV,超导临界电流Ic为55hA,漏电流为5nA.
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