【摘 要】
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Kebaili公司推出了业界第一个用于研制新型化学传感器的KMHP-100MEMS微热板。这种创新型传感器是采用MEMS和纳米技术,基于溶胶-凝胶法、功能化聚合物、掺杂半导体金属氧化物
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Kebaili公司推出了业界第一个用于研制新型化学传感器的KMHP-100MEMS微热板。这种创新型传感器是采用MEMS和纳米技术,基于溶胶-凝胶法、功能化聚合物、掺杂半导体金属氧化物、纳米线和功能化碳纳米管制成的。微热板芯片模块的尺寸仅为1.00mm×1.00mm×0.38mm,且具有高达650℃稳
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