【摘 要】
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<正> 一、概 述 一九八九年六月廿六日至卅日,在瑞士蒙特洛举行了第五届国际固态传感器与执行器会议(简称Transducers＇89)。由于国际上固态传感器和执行器领域研究开发进展极
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<正> 一、概 述 一九八九年六月廿六日至卅日,在瑞士蒙特洛举行了第五届国际固态传感器与执行器会议(简称Transducers＇89)。由于国际上固态传感器和执行器领域研究开发进展极快,使得这个两年一度的会议规模越来越大。会议轮流在美国、欧洲及亚洲举行。第一次会议1981年在美国波士顿举行,100人参加;第二次83年在荷兰特尔夫特,350人;第三次85年在美国费城,550人;第四次在日本东京,630人。这次参加人数达到817人。有35个国家参加。已经有人提议每年召开会议或分解成专题会议以缩小会
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<正> 1 引言 女士们,先生们。很荣幸能在第三届国际真空微电子学年会上发表演说。众所周知,“真空微电子学”这个名词起源于 1988年在美国弗吉尼亚州威廉斯堡举行的第一届国