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<正>在横向样品方向生产出自由移动的单元将会对硅微机械结构的革命产生巨大影响.这种横向移动结构允许旋转和滑动,可以在传感器和执行器中应用.而这些应用到目前为止,由于现存工艺性能和成本的限制是不能达到的.
在单晶硅中批量加工横向移动结构
【摘 要】
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<正>在横向样品方向生产出自由移动的单元将会对硅微机械结构的革命产生巨大影响.这种横向移动结构允许旋转和滑动,可以在传感器和执行器中应用.而这些应用到目前为止,由于现
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1990年2期
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