【摘 要】
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日本HL-600平版印刷设备,使用高速直接描绘法能印出宽度小于1微米的线条,并能在面积为4英寸的薄片上,以每小时印10张的速度复印线宽为1微米的光谱图.使用高精度印刷法,每小
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日本HL-600平版印刷设备,使用高速直接描绘法能印出宽度小于1微米的线条,并能在面积为4英寸的薄片上,以每小时印10张的速度复印线宽为1微米的光谱图.使用高精度印刷法,每小时能印出5英寸的掩模3块.
Japan HL-600 lithography equipment, the use of high-speed direct rendering method can print lines less than 1 micron width, and in the area of 4 inches on the sheet, at a speed of 10 copies a copy line width of 1 micron spectrum Figure 3. Using a high-precision printing method, three 5-inch masks can be printed every hour.
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