磁过滤的阴极弧等离子体源及其薄膜制备

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采用磁过滤弯管滤除阴极弧等离子体中的大颗粒,研究了偏压和导向磁场对磁过滤弯管传输效率的影响.建立了磁过滤弯管中正交电场和磁场下的等离子体扩散模型,分析各个参数对等离子体传输的作用规律.采用磁过滤的阴极弧等离子体源制备了NbN膜,研究了沉积温度对膜层特性的影响.
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