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从标量衍射理论出发,在傅立叶光学的基础上,建立一个数学模型,分析台阶侧壁倾斜对多阶菲涅耳透镜衍射效率的影响.并通过实验,分析影响台阶侧壁倾斜、表面粗糙度和刻蚀速率的因素,确定离子束刻蚀菲涅耳透镜的最佳工艺参数.
离子束刻蚀过程中台阶侧壁倾斜现象研究
【摘 要】
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从标量衍射理论出发,在傅立叶光学的基础上,建立一个数学模型,分析台阶侧壁倾斜对多阶菲涅耳透镜衍射效率的影响.并通过实验,分析影响台阶侧壁倾斜、表面粗糙度和刻蚀速率的
【机 构】
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中国科学院长春光机所应用光学国家重点实验室,长春,130022
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2000年2期
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期刊
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