【摘 要】
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针对密集波分复用（DWDM）技术中所使用的梳状滤波器,对固体腔研磨厚度指标要求极高Δν=200GHz,Δd≤13.37nm,本文提出运用法布里-珀罗干涉理论（Fabry-Perot）,研究设计了一种针对
【机 构】
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第二炮兵工程学院,西北工业大学精确制导与控制研究所,西安工业大学光电学院,航天科技集团第六研究院7103厂
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针对密集波分复用（DWDM）技术中所使用的梳状滤波器,对固体腔研磨厚度指标要求极高Δν=200GHz,Δd≤13.37nm,本文提出运用法布里-珀罗干涉理论（Fabry-Perot）,研究设计了一种针对固体腔厚度的现场检测方法。该方法根据被测元件等效为系统干涉腔的间接测量方法,以通过被测元件后的法珀相邻能量极值特性,作为检测厚度合格的判定依据,实现了对超窄带梳状滤波器组成元件——未镀膜层固体腔（SiO2）的高精度厚度检测。实验结果表明,该测量方法适用于对透光介质的厚度检测。
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