【摘 要】
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微波带通滤波器是微波通信系统中的关键器件。本文设计了一种利用硅MEMS腔体技术制作的微波窄带带通滤波器。采用交指结构四分之一波长短路谐振器级联结构,利用电磁场仿真设
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微波带通滤波器是微波通信系统中的关键器件。本文设计了一种利用硅MEMS腔体技术制作的微波窄带带通滤波器。采用交指结构四分之一波长短路谐振器级联结构,利用电磁场仿真设计软件HFSS进行了设计、建模、仿真和优化,得到了一款具有小型化、高抑制度、低插损、好的电磁屏蔽且易于集成等优点的硅MEMS腔体带通滤波器。
Microwave band-pass filter is the key component in microwave communication system. In this paper, we design a microwave narrowband band-pass filter made of silicon MEMS cavity technology. The cross-fingered quarter-wavelength short-circuit resonator cascade structure is adopted and designed, modeled, simulated and optimized by using the electromagnetic field simulation design software HFSS, and a compact, high suppression, low insertion loss Of the electromagnetic shielding and easy integration of silicon MEMS cavity bandpass filter.
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