【摘 要】
：
对快速退火后用共蒸发Ｂ＿２Ｏ＿３方法实现重掺杂硼的硅分子束外延层的电学特性进行了研究．１１００℃退火可以使得外延层中载流子浓度提高４倍，空穴的霍耳迁移率与相同浓度下硅体材料的水平相当；外延
【机 构】
：
复旦大学李政道物理学综合实验室和物理系，复旦大学应用表面物理国家重点实验室，中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室
论文部分内容阅读
对快速退火后用共蒸发Ｂ＿２Ｏ＿３方法实现重掺杂硼的硅分子束外延层的电学特性进行了研究．１１００℃退火可以使得外延层中载流子浓度提高４倍，空穴的霍耳迁移率与相同浓度下硅体材料的水平相当；外延层与衬底之间载流子浓度转变陡峭，获得了晶体质量良好的外延层．
The electrical properties of boron-doped Si molecular beam epitaxial layers after co-evaporation with B 2 O 3 were investigated. 1100 ℃ annealing can make the epitaxial layer carrier concentration increased by 4 times, hole Hall mobility and the same concentration of silicon material at the same level; epitaxial layer and the substrate between the carrier concentration transition steep, obtained Good crystal quality epitaxial layer.
其他文献
流传已久的2017年高考新版方案，各省实施细则尚未发布，意味着另一只靴子还没有落下来。网络和坊间利益相关各方，尽力发挥想象，进入臆测状态。 改革的指向，一是让外语回归工具性，恢复和提高母语的地位；二是消灭文理科分野，鼓励学有专长；三是带来教学方式、学习安排和校园文化的变化，教与学的互动增加，或望改善学校教学生态。 我是一名将要经历高考的文科生，利害攸关，对未来高考政策的变化，难以做壁上观。对大
中学思想品德课是教学生如何做人的学科,在传统的教学中,学生的学习方式注重接受学习,老师只起到“传声筒”的作用,学生则被称为“留声机”.新课程标准理念认为课堂教学应尽
《小学语文课程标准》指出:“写字教学要重视对学生写字姿势的指导,引导学生掌握基本的书写技能,养成良好的写字习惯。”小学生正处于长身体、养习惯的关键时期,写字姿势的正
所谓“高效课堂”，就是最大程度的发挥课堂教学的功能和作用，即在课堂45分钟内要最大限度、最完美的完成教学任务、达成育人目标，在课堂有限的教学时间内最完美的实现教育教学的
刚刚闭幕的党的十七届五中全会,通过了《中共中央关于制定国民经济和社会发展第十二个五年规划的建议》(以下简称《建议》),《建议》明确提出了“十二五”发展的指导思想、基
早在1984年,万里同志就尖锐指出:“教育当然需要传授知识,把人类已经获得的知识传授给新的一代.但更重要的是培养学生独立思考的能力,培养学生运用获得的知识去解决面临的新
1955年1月生,研究员。现任黑龙江省农业科学院经济作物研究所所长、书记,国家麻类改良中心哈尔滨亚麻分中心主任,黑龙江省亚麻育种重点学科带头人,黑龙江省农业科学院博士后
随着计算机技术,集成电路技术的高速发展,数码产品的高度集成化也将成为现在以及未来的必然发展趋势。人们选购数码产品将会更多的关注产品的多功能化和功能实用度。以往的电
2010年对《新财经》而言,是一个有意义的年头。总结这一年,我们有坚持,有收获,也有无奈和纠结。我们不敢说做得有多好,我们能说的是,对所有的一切,我们都认真对待。这不光是