Ar对微波等离子体CVD单晶金刚石生长的影响

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mawenxing8155
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用自主研发的5kW不锈钢谐振腔式MPCVD设备,在Ar/H_2/CH_4气氛下,保持总气压与CH_4气流量不变,研究了不同Ar/H_4比例对单晶金刚石生长速度和晶体质量的影响。通过拉曼光谱与高分辨率XRD摇摆曲线,从生长速度与生长质量两点对所得样品进行分析。结果表明,适量Ar的存在能够显著提高单晶金刚石的生长速度,并且不损害金刚石的晶体质量。当Ar/H_2=30%时,生长速度最高,为35μm/h。随着Ar/H_2比例的进一步增加,单晶金刚石的结晶质量会有所下降,Ar/H_2比例过高则会严重破坏单晶金刚石
其他文献
项目反应理论(item response theory,IRT)是一种可以精确测量被试能力的现代测量理论,起源于20世纪30年代末;到70年代,IRT逐渐替代了传统的经典测验理论(classical test theo
目的对某三甲医院急性阑尾炎患者进行DRGs分组,探讨急性阑尾炎患者的住院费用,为制定相关DRGs组的支付标准提供参考依据。方法通过医院病案信息管理系统,选择2016年1月-2018
目的为进一步了解医院感染现状及趋势,以便有针对性继续落实医院感染防控措施。方法采用病例调查与床旁调查相结合的办法,对2011-2018年某三甲医院12月某日的医院感染现患率
杨礼竹,女,1989年生,原籍濮阳,现居郑州.专业画家,毕业于四川传媒大学设计专业.其画马之风格,自由奔放,昂首向前,有一种豪情斗志、勇往直前的信念和力量.她依照透视原理,表现
期刊
转向油泵作为液压助力转向系统的核心部件,其性能的好坏将直接影响到整车的NVH性能,本文主要介绍其参数的计算及流量曲线的正确解读。
采用超声-离子交换法制备PI/Zn O复合薄膜,采用SEM、EDS、XRD、XPS、UV-vis DRS、TGA等对其形貌、结构进行表征。结果表明,复合薄膜表面以六方纤锌型纳米Zn O存在,颗粒均匀、
地震勘探方法是进行浅层地下构造划分的重要方法技术之一。针对我国许多公路工程建设勘查过程中经常会遇到的不良地质体的探测问题,以及软土地基在公路建设工程中所存在危害
随着科技水平的不断提高,研究者们可以获得有关疾病的各类数据,例如基因组学、蛋白质组学、代谢组学、影像学等。这些海量数据的获得使得我们对疾病的了解更加深入。但随之而
从昆仑山口西 8.1级地震、青藏高原地震带、活动断裂带入手 ,讨论了青藏高原地区大地震活动规律 ,指出东昆仑山断裂带东 -西大滩段将是发生大地震的最危险地段 ,唐古拉山到拉萨一带既是大震危险区段 ,又是强震频发区段。分析了青藏铁路穿越区域面临的地震灾害 ,提出了青藏铁路防震减灾对策和措施。