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飞秒激光照射材料表面,能够诱导远小于激光波长的纳米周期结构.采用飞秒激光三光束干涉技术,并简单地旋转偏振片调节三束光的偏振方向,在ZnO晶体表面制备了 3 种不同类型的微纳复合周期结构.该结构由长周期微米结构以及短周期纳米结构组成.理论计算结果表明,光束间不同的偏振组合能够导致不同的光强及偏振分布,这很好地解释了实验结果.该方法使偏振成为影响干涉的一个重要因素,在激光纳米加工具有潜在的应用价值.