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一、硅单晶和外延材料 半导体硅单晶材料是半导体器件和集成电路等电子工业的基础材料,年产量已超过50亿in~2,到2000年预计将达60多亿in~2。在目前使用的半导体材料中,硅一直处于主导地位(98％的半导体器件是由硅材料制造)。在过去的近半个
半导体材料的发展现状与趋势(摘要)
【摘 要】
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一、硅单晶和外延材料 半导体硅单晶材料是半导体器件和集成电路等电子工业的基础材料,年产量已超过50亿in~2,到2000年预计将达60多亿in~2。在目前使用的半导体材料中,硅一直
【机 构】
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中国工程院院士中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室
【出 处】
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新材料产业
【发表日期】
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2000年5期
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