相位光栅干涉条纹信号误差分析与实时校正

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讨论了实际条件下相位光栅干涉位移测量时两路正余弦信号与理想信号之间的误差,以及该误差对位移测量精度的影响;分析了常规的正切法软件细分算法的位移测量误差,建立了李萨茹圆方程求解的最小二乘拟合数学模型,提出了基于Heydemann椭圆修正理论的误差实时校正方法;进行了模型误差实时校正测试实验,取得了良好实验结果.
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