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一种快速超高真空保护系统
一种快速超高真空保护系统
来源 :分析仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:py13141314
【摘 要】
:
为了满足同步辐射光源光束线和实验站真空联锁保护系统的需要 ,本实验室研制出超高真空计、快阀及快阀控制器。本文介绍超高真空计及快阀控制器的设计 ,给出了光束线和实验站
【作 者】
:
徐锡林
汪啸
姚传荣
光霞
【机 构】
:
中国科学技术大学国家同步辐射实验室!合肥,230029,中国科学技术大学国家同步辐射实验室!合肥,230029,中国科学技术大学国家同步辐射实验室!合肥,230029,中国科学技术大学国家同步辐射实验
【出 处】
:
分析仪器
【发表日期】
:
2000年03期
【关键词】
:
真空计
快阀
快阀控制器
真空联锁保护
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为了满足同步辐射光源光束线和实验站真空联锁保护系统的需要 ,本实验室研制出超高真空计、快阀及快阀控制器。本文介绍超高真空计及快阀控制器的设计 ,给出了光束线和实验站真空联锁保护系统的应用实例。
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