【摘 要】
：
文章采用射频反应磁控溅射法在p型Si（100）衬底上制备了HfO2高k薄膜,并对样品进行了N2气氛快速退火处理。对薄膜进行了Raman光谱、UV-VIS-NIR透过光谱、XPS以及C-V特性的分析,研
【机 构】
：
西北工业大学凝固技术国家重点实验室
论文部分内容阅读
文章采用射频反应磁控溅射法在p型Si（100）衬底上制备了HfO2高k薄膜,并对样品进行了N2气氛快速退火处理。对薄膜进行了Raman光谱、UV-VIS-NIR透过光谱、XPS以及C-V特性的分析,研究了快速退火对HfO2薄膜结构、成分、禁带宽度和电学特性的影响。结果表明,HfO2薄膜有良好的非晶稳定性,组分基本符合化学剂量比。经N2气氛快速退火处理后,薄膜的化学剂量比得到改善,禁带宽度增大,且薄膜内的固定电荷密度和平带电压偏移减小。
其他文献
可测量性是对Ad Hoc网络进行性能评价和网络管理的基础。文章提出了一种基于端到端多源测量的Ad Hoe网络内部链路丢失率的推测方法，基本思路是：首先利用链路拓扑快照捕获算法获
为了提高自适应滤波器的收敛性和跟踪性，提出了一种自适应增益APA—AG算法。通过分析估计输出误差信号，获得了参数迭代步长的一个特定值估计，以实现集平均代价函数最小化。仿真
为了消除由紫外光曝光所引起的步进压印机的热误差,以提高压印机的套刻对准精度,运用逐步回归分析法选取了压印机上温度测量点的数量,将压印机上布置的温度传感器从15个减少
文章对20°顶角的圆锥-圆柱组合体在3.0×1.6 m低速低湍流度风洞进行了表面压力分布测量和二维粒子图像测速。基于圆锥底面直径的雷诺数0.3×106,迎角0°-35
根据文献传递服务工作实践,通过对读者和文献传递员两方面的调查研究,分析了昌北高校图书馆文献传递服务存在的问题,提出了文献传递服务的发展对策,为进一步深化文献传递服务
针对遗传算法易发生早熟收敛的缺点，提出了一种既满足时延、时延抖动及带宽等约束，又能使通信代价最小的混沌遗传算法。该算法利用混沌扰动算子对种群进行扰动操作，增加种群的多
2015年6月9日,湘鄂赣皖四省公共图书馆联盟工作会议在南昌召开。会议由江西省图书馆馆长周建文主持。来自国家图书馆、湖南图书馆、湖北省图书馆、安徽省图书馆、江西省图书
开放存取基于开放与共享的理念,依托网络技术,正在成为学术出版和科学信息交流的全新模式.简要介绍了开放存取的基本内容,分析了开放存取对图书馆信息资源建设的影响,探讨了