美研究将MEMS晶体管集成至CMOS电路

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美国半导体研发联盟机构Semiconductor Research(SRC)与康耐尔大学(Cornell University)合作发表一种微机电系统(MEMS)晶体管,并可提供给SRC联盟成员采用,做为CMOS芯片上的时序(timing)解决方案。这种MEMS-JFET元件是在硅晶振谐器(resonator)上制作一个结场效应 Semiconductor Research (SRC), a semiconductor research and development consortium, and Cornell University partnered to publish a MEMS chip that can be used by SRC consortiums as a timing on CMOS chips. solution. This MEMS-JFET element creates a junction effect on the silicon crystal resonator
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