【摘 要】
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本文报导了二元金属二极型,磁控管型(钛柱和钽柱)和三极型溅射离子泵对氩气的排除和放电强度试验,同时用俄歇电子能谱技术测量了被排氩在阳极筒内表面的分布。即使是二元金属
【机 构】
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清华大学无线电电子学系,清华大学无线电电子学系,清华大学无线电电子学系
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本文报导了二元金属二极型,磁控管型(钛柱和钽柱)和三极型溅射离子泵对氩气的排除和放电强度试验,同时用俄歇电子能谱技术测量了被排氩在阳极筒内表面的分布。即使是二元金属二极型大部份被排氩也不埋藏在阳极内表面上。
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