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在350μm厚的碳化硅样品上加工了直径200μm的微孔,研究了基于水辅助的飞秒激光碳化硅微孔加工方法。探讨了空气中加工微孔与水辅助加工微孔的差别。水降低了加工区域的温度,大大减少了氧化反应的发生,而且加工产生的碎屑由水带走,避免了热影响区的形成,降低了样品粗糙度。加工出的微孔侧壁光滑,无热影响区,在工业中有实际应用的价值。该加工方法使加工形貌良好的碳化硅微孔成为现实,有望应用于碳化硅的工业加工中。