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二元光学器件是一种表面微细结构组成的衍射光学元件。其制作工程中存在的加工误差主要有系统刻蚀误差、对准误差、随机台阶刻蚀深度误差、随机台阶刻蚀宽度误差等。其表面结构的形状及其偏差对其使用性能将产生严重的影响。探索出有效的二元光学器件表面表誊征方法是保证其制作工艺及系统有良好性能的前提和主要手段。本文介绍了一种幅度参数表征法，并给出了参数表征法中各参数的数学模型。