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采用溶胶--凝胶法制备高纯的靶材,利用PLD法生长薄膜,成功地在Si衬底上生长了高质量的ZnO薄膜,系统的研究了衬底温度对薄膜生长的影响.采用XRD对薄膜结构进行分析.XRD测试表明,大部分薄膜都具有高度的C轴择优生长取向性,只有衬底温度过高薄膜结构才发生改变.
脉冲激光沉积法制备ZnO薄膜中衬底温度对ZnO薄膜结构的影响
【摘 要】
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采用溶胶--凝胶法制备高纯的靶材,利用PLD法生长薄膜,成功地在Si衬底上生长了高质量的ZnO薄膜,系统的研究了衬底温度对薄膜生长的影响.采用XRD对薄膜结构进行分析.XRD测试表
【机 构】
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商洛学院,物理系,陕西,商洛,726000
【出 处】
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榆林学院学报
【发表日期】
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2010年4期
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