【摘 要】
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作者采用改装了的射频溅射设备在滚珠轴承上溅射MoS_2膜,并选择了合适的工艺参数。用X-射线衍射仪和俄歇能谱仪研究了溅射MoS_2膜的结构和与底材间的界面,评定了溅射MoS_2的
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所,中国科学院兰州化学物理研究所,中国科学院兰州化学物理研究所,中国科学院兰州化学物理研究所,中国科学院兰州化学物理研究所
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作者采用改装了的射频溅射设备在滚珠轴承上溅射MoS_2膜,并选择了合适的工艺参数。用X-射线衍射仪和俄歇能谱仪研究了溅射MoS_2膜的结构和与底材间的界面,评定了溅射MoS_2的抗摩性能并测定了溅射MoS_2膜润滑的滚珠轴承的摩擦力矩和耐久寿命。
The authors used modified RF sputtering equipment to sputter MoS2 films on ball bearings and chose the appropriate process parameters. The structure of MoS_2 film and the interface with the substrate were studied by X-ray diffraction and Auger spectroscopy. The anti-friction properties of MoS_2 sputtered were evaluated and the friction of MoS_2 film lubricated ball bearing was measured Torque and long life.
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