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一、微机械的发展和定义 微机械是本世纪出现的一项高新技术,它的发展是建筑在下列三个支柱技术的基础上,即(1)以VLSI为代表的半导体微细加工技术;(2)微检测和控制技术;(3)微系统的设计方法论。由于人们预料到这项技术将导致未来产业
微机械技术应用于医疗工程的研究
【摘 要】
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一、微机械的发展和定义 微机械是本世纪出现的一项高新技术,它的发展是建筑在下列三个支柱技术的基础上,即(1)以VLSI为代表的半导体微细加工技术;(2)微检测和控制技术;(3)微
【机 构】
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上海交通大学,上海交通大学
【出 处】
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医疗保健器具
【发表日期】
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1999年5期
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