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期刊论文
大角度离子注入机的束纯度控制
大角度离子注入机的束纯度控制
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:allskyy
【摘 要】
:
从大角度离子注入机束线系统设计上的改进出发,对加/减速模式和多电荷注入等情况下的束能量纯度控制进行了阐叙,同时依靠大量的实验,从SIMS的实验数据来验证控制设计的合理性
【作 者】
:
王迪平
孙勇
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2011年1期
【关键词】
:
大角度离子注入机
加/减速
多电荷
束线系统
束能量纯度
二次离子质谱分析仪(SIMS)
Large tilt ion implanter Accel/dece
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从大角度离子注入机束线系统设计上的改进出发,对加/减速模式和多电荷注入等情况下的束能量纯度控制进行了阐叙,同时依靠大量的实验,从SIMS的实验数据来验证控制设计的合理性和有效性。
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