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聚焦离子束加工技术在元器件可靠性领域中的应用研究
聚焦离子束加工技术在元器件可靠性领域中的应用研究
来源 :环境技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:roc9055
【摘 要】
:
FIB技术通过截面加工实现部分失效样品的原位观察,通过截面加工获得的图像获取相关信息;能够进行TEM制样,是材料微分析领域中不可缺少的分析技术;能够进行纳米器件加工,是微
【作 者】
:
崔帅
曹德峰
李志勇
陈斌
【机 构】
:
上海微小卫星工程中心,中国科学院微小卫星重点实验室
【出 处】
:
环境技术
【发表日期】
:
2016年2期
【关键词】
:
FIB
结构分析
失效分析
TEM制样
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FIB技术通过截面加工实现部分失效样品的原位观察,通过截面加工获得的图像获取相关信息;能够进行TEM制样,是材料微分析领域中不可缺少的分析技术;能够进行纳米器件加工,是微加工领域的一种新型技术。FIB技术可操作性强、样品损伤小,对航天型号元器件可靠性质量保证技术具有一定的指导意义。
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