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高g加速度计具有高过载、高响应速度、高环境压力以及体积小和价格低等特点。我们开发的新型电容式加速度计，具有10万g的量程，能够实现高g环境下的加速度测量，满足了用户的要求。基于有限元模拟和经验数值结合的办法，在大量程和灵敏度之间综合考虑，确定了高g的设计思路，并采用硅溶片工艺制备了满足设计要求的MEMS加速度计。