【摘 要】
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针对化学气相沉积法在玻璃衬底上制备的SnO2薄膜,建立了计算模型,研究了SnO2薄膜的反射光谱性质,计算出相关的光学参数。结果表明:振荡模型结合Drude模型能较好地描述SnO2薄
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针对化学气相沉积法在玻璃衬底上制备的SnO2薄膜,建立了计算模型,研究了SnO2薄膜的反射光谱性质,计算出相关的光学参数。结果表明:振荡模型结合Drude模型能较好地描述SnO2薄膜光学性能,可通过改变膜层厚度的方法对F掺杂SnO2薄膜光学性能进行模拟优化。
Aiming at the SnO2 thin film prepared by chemical vapor deposition on a glass substrate, a calculation model was established, the reflection spectral properties of the SnO2 thin film were studied, and the related optical parameters were calculated. The results show that the oscillation model combined with Drude model can well describe the optical properties of SnO2 thin films. The optical properties of SnO2 thin films can be simulated and optimized by changing the film thickness.
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