【摘 要】
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以40CrNi2MoA钢作为基体，通过阴极电弧等离子体沉积（CPAD）技术制备了TiN、TiAlN和TiN/TiAlN薄膜。通过扫描电镜、X射线衍射仪、纳米压痕仪、原子力显微镜、摩擦磨损试验、洛氏硬度计和电化学分析，对比了3种薄膜的组织结构、纳米硬度、表面粗糙度、耐磨性、附着力和耐蚀性。结果表明，TiN/TiAlN双层膜的综合性能最佳，其附着力为HF1级，摩擦因数为0.455，纳米硬度为36.59
【基金项目】
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国家自然科学基金（61601153）； 浙江省教育科学规划课题（2019SB065）； 衢州市科技计划指导性项目（2021058,2021060）；
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以40CrNi2MoA钢作为基体，通过阴极电弧等离子体沉积（CPAD）技术制备了TiN、TiAlN和TiN/TiAlN薄膜。通过扫描电镜、X射线衍射仪、纳米压痕仪、原子力显微镜、摩擦磨损试验、洛氏硬度计和电化学分析，对比了3种薄膜的组织结构、纳米硬度、表面粗糙度、耐磨性、附着力和耐蚀性。结果表明，TiN/TiAlN双层膜的综合性能最佳，其附着力为HF1级，摩擦因数为0.455，纳米硬度为36.59GPa，表面粗糙度（Ra）为0.09μm。
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