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亚微纳公司公开发布世界上第一个可用于300毫米的离子束沉积系统——stratIon^TM fxP。该系统将被用于开发下一世代立基于磁隧道接合的器件之应用，其范围包括磁阻式随机存储器、硬盘驱动读取头或射频组件。同时也将被用于先端互补金属氧化物半导体金属栅极之沉积。
Aviza推出全球首款用于300mm离子束沉积系统
【摘 要】
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亚微纳公司公开发布世界上第一个可用于300毫米的离子束沉积系统——stratIon^TM fxP。该系统将被用于开发下一世代立基于磁隧道接合的器件之应用，其范围包括磁阻式随机存储器
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2008年12期
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