【摘 要】
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相位偏折术中,系统标定精度对面形测量精度具有决定性的影响.采用带标记点标靶进行标定时,由于其表面不是理想平面而引入误差,导致虚像姿态求解不精确,进而影响标定精度.通过使用高精度的标准平面镜作为反射镜,从初始系统参数开始,采用交替方向优化的方法实现系统几何参数的标定,提高了标定精度,同时避免了变量过多导致的矩阵病态问题.使用该方法对双目相位测量偏折系统进行标定后,对100 mm 口径的标准平面镜进行了对比测量.由测量面形可知,该方法可显著降低测量均方根误差和低频面形误差.相比于传统带标记点标靶的方法,有效提
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,四川成都610209;中国科学院大学,北京100049;中国科学院光电技术研究所,四川成都610209
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相位偏折术中,系统标定精度对面形测量精度具有决定性的影响.采用带标记点标靶进行标定时,由于其表面不是理想平面而引入误差,导致虚像姿态求解不精确,进而影响标定精度.通过使用高精度的标准平面镜作为反射镜,从初始系统参数开始,采用交替方向优化的方法实现系统几何参数的标定,提高了标定精度,同时避免了变量过多导致的矩阵病态问题.使用该方法对双目相位测量偏折系统进行标定后,对100 mm 口径的标准平面镜进行了对比测量.由测量面形可知,该方法可显著降低测量均方根误差和低频面形误差.相比于传统带标记点标靶的方法,有效提高了标定的精度和稳定性.
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